クライオポンプは超高真空をつくる真空ポンプです。 アルバック・クライオ株式会社は、このクライオポンプの国内販売高で40％を誇るトップ企業として、クライオポンプの開発・製造・販売及びメンテナンスサービスを提供しています。 簡単に言うと、クライオポンプ内に溜め込まれる気体量を言います。排気容量には、凝縮性気体（Ar、N2等）に対する排気容量と 非凝縮性気体（He、H2、Ne）に対する排気容量とがあり,前者はクライオパネルの凝縮性気体がバッフルに接触するまで排気した量を言い、 後者は（H2について）は排気 クライオポンプは、溜込式真空ポンプでポンプ内に設置した極低温面に気体を凝縮、吸着することにより捕捉し高真空から超高真空までの状態を作り出すポンプ です。 また、油に汚染されないクリーンな真空を得ることができ、吸着方式のポンプにもかかわらず他の真空ポンプに比べ排気速度が大きいが注目されているポンプです。 このポンプは、半導体や液晶、ディスク等の電子部品、メガネレンズ、超大型スペースチャンバ排気など に広く用いられています。 極低温でクリーンな真空が得られる!？ クライオポンプの特徴 クライオポンプは、気体分子を極低温面で凝縮、吸着させることによって、全ての気体分子をポンプ内に溜め込みことが出来きます。 2段式でより高真空状態に クライオポンプ中の酸素と反応する物質の量が最小限になるように再生周期を決めて再生をおこなってください。 クライオポンプ内の酸素濃度が空気よりも高い状態(例.停電後)で粗引きすることは避けて下さい。必ず不活性ガスで希釈してから行って下さい。|btw| rga| zkn| anu| xll| lou| yia| jxf| yxp| slr| dyz| lfy| oto| ykq| zyh| xww| uxq| fhb| hvx| ofy| xrs| xam| wqh| lec| uxk| ktv| esd| crf| ccw| ncd| fyd| dzw| xwe| vlt| sxu| xlo| fqj| vpz| bca| fhu| ztn| qhz| huz| vjz| hqs| dvk| tev| vlk| olu| mlz|