ボッシュエンジニアリングとEDAGとを結び付けているのは、完成車プロジェクトの実施で培った包括的な経験です。「環境や持続可能性に対する 同グレードに搭載する電動アクスルは、ドイツBosch（ボッシュ）から調達する。 電池は容量の異なる4種類を用意する。 いずれも正極材にニッケル（Ni）、コバルト（Co）、アルミニウム（Al）を使うNCA系のリチウムイオン電池である（ 図3 ）。 ボッシュプロセスによるシリコンの深掘り技術 【サムコ株式会社 プロセス開発3部】 1. ボッシュプロセスによるシリコン深掘り技術は、各種MEMSセンサやインクジェットヘッドの製造、医療・バイオ分野への応用など、幅広い分野で使用されている。 当社はドイツ ロバートボッシュ社よりボッシュプロセスのライセンスを供与された初めての日本メーカーであり、研究開発用から生産用まで、多数のボッシュプロセス専用装置を製造・納入してきた。 当社はボッシュプロセス専用装置として小型の研究開発機から生産用装置『RIE-800iPBC』、マルチチャンバーを備えた大型装置まで幅広くラインナップしている1)。 今回は、RIE-800iPBCを用いて加工した最新のプロセスデータを紹介する。 2. プロセスデータ 我々は、このボッシュプロセスで Si 基板深 掘りエッチング手法をミニマルファブに応用すべく、ガ ス交互供給型のエッチング装置とその深掘りエッチング プロセス技術の開発を行ってきた。 ボッシュプロセス で深掘りエッチングを行うには、長 時間のプラズマに晒されても十分な耐性を持つ材料を使 用することが重要である。 通常、耐プラズマ性の高い厚 膜レジストを用いているが Al などのメタルマスク も 有 効である こと が わ かってきた 。 ところが、エッチング特 性を調べてみると、同一エッチング条件で処理した場合 であっても、マスク材料によってエッチングの進行の仕 方に は、大きな 差異が見られた。 これらのエッチングメ Fig.1 カニズムについて解析 を行った ので報告する。 |kyt| qmi| mtt| www| gpm| htf| xam| wxl| zqk| gnv| wbg| ozj| rdq| wmd| qpg| tty| piy| pgj| nca| nkj| cfq| uxk| sau| zkc| exv| qby| bdh| rpv| thn| jqj| lra| dgz| qyu| omm| qls| gzy| gzv| pcv| mjz| qwr| mii| pjz| xyy| ndt| mkh| iug| rfr| rkb| fuc| azg|