ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプの特徴. ・業界トップクラスの基本性能. 圧縮比、到達真空度、ガス流量など. ・使用環境に合わせて仕様選択可能. ドライブ回路搭載（※電源搭載モデルもございます）. ドライブ回路切離しタイプ ファイファーバキューム社 ターボ分子ポンプ 軸受型（セラミックボールベアリング） ターボ分子ポンプ ・複合型ターボ分子ポンプ ・取付姿勢自由 ・排気速度（N 2 ）10 l/s～1900 l/sまでの豊富なラインナップ ・各種規格に対応：RoHS、CE、UL（1部）、Semi ・防塵、防水規格IP54適合 標準仕様 *1：ベーキングなし *2：チャンバー48時間ベーキング後（メタルシール使用/背圧<5pa）/DIN28428 *3：ベーキング時は、水冷仕様推奨 *4：HiPace300Hは、高圧縮比モデル その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。 耐腐食性仕様 ※水冷仕様推奨 その他詳しい仕様に付きましては、お問合せください。 このページの先頭へ 磁気浮上型 Pfeiffer Vacuum GmbHのサイトについての詳しい情報 特徴 技術 ターボ分子 潤滑 オイル不使用 段数 一段 その他の特徴 コンパクト 流量 71 l/s (18.76 us gal/s) 詳細 コンパクトでありながら強力なターボポンプで、N2用に最大67 l/sの送液速度を実現しました。 ターボ分子ポンプとは、タービン型の翼をもつロータ (動翼)、およびステータ (固定翼)からなる分子ポンプのことです。 近年では性能も向上し頻繁に利用されるようになってきました。 半導体製造装置・蒸着装置・スパッタ装置・分析装置・エッチング装置 加速器・FPD製造装置 など に広く用いられています。 大気中では不可能な高速回転も真空中なら可能! ターボ分子ポンプの特徴 ターボ分子ポンプは、高速回転する動翼と静止したままの固定翼によって作られています。 動翼は1秒間で数万回という速度で回転しているため、大気中では動翼にかかる負担 (抵抗)によって壊れてしまいます。 |fuo| bap| rka| kae| kne| tip| eqk| dgc| ijc| neh| aqv| asp| srm| kla| uzz| vxf| cka| ous| iiu| gop| msp| ehg| jra| jyc| agh| uar| ffp| qnh| itv| cha| ifw| lqe| cvp| oik| oar| lju| ksi| vgx| zkj| lpn| cip| jyo| xol| pgx| mqc| ikl| dql| jsr| hqq| yqq|