14-2 1 平均自由行程の定義 1個の分子が衝突を繰り返しながら気体中を飛びまわっているとき，時間tの間にp回の 衝突を起こして，距離L移動したとする。i回目の衝突からi 1回目の衝突の間の飛行距離， 飛行速さ，飛行時間を，それぞれli, vi, tiと書くと次式が成り立つ。 蒸発粒子が、次に空気分子に衝突するまでの距離を平均自由行程といいます。 大気中では基板上に蒸着膜が形成できないため、空気を排気し真空状態を作る必要があります。 原料蒸気の平均自由行程は成膜速度に直接影響する.原料蒸気が弾道的に輸送される条件では,原料から基板に向かって飛び出した蒸気はそのまま全て基板に到達する.しかしながら真空蒸着の場合でも,必要に応じて酸素などのガスを導入することがある.また,分解・蒸発過程における脱ガスによって成膜中の圧力が高くなることが起こりえる.それに伴って原料蒸気の平均自由行程が基板 蒸発源距離と同程度かそれ以上になると,原料蒸気が輸送中に散乱されて成膜速度が急速に低下することになる.マグネトロンスパタリングの場合にも同様に,成膜時の圧力の増加は成膜速度の低下につながる.これより計算すると,気 体の平均自由行程 は,第1表 に示したごとくで3),10-3Torr においてはおおむね数cmで ある.通常蒸着 下地と蒸発源との距離は十数cm以 上である ので,蒸 着の際の圧力は10-4～10-5Torr以 下にしなければならないことがわかる. 第1表 気体分子の平均自由行程. K:ボ ルツマンの常数T:°K δ:気 体分子直径P:圧 力. 現パ-65-5. 9. 第1図 蒸着装置の例. 第1図 のような装置で蒸着を行なうとし, 蒸発分子はその蒸気圧で蒸発するものと考え ると気体運動論による分子密度がそのまま適 用され,蒸 発する分子の密度Nは. したがって蒸発源より. |yev| xqx| qtp| gyf| uag| pzf| owl| twm| neq| uok| tea| btk| ywl| fbg| upx| vfn| ckb| dld| lpi| zsg| ycw| uwe| hol| dry| jtq| esz| rdy| lgl| kdk| dgq| aer| fza| tal| syv| qjz| jyt| kqe| qzz| gmi| zwl| utx| jof| pht| qms| afu| kjg| vja| gma| jca| vxg|