熱処理装置にも バッチ式と枚葉式 があります。 目次 [ hide] 1．バッチ式の熱処理装置（ホットウォール型） （1）縦型炉と横型炉 （2）ホットウォール型のデメリット （3）ホットウォール型の呼び方には色々ある 2．枚葉式の熱処理装置（RTA装置、レーザアニール装置） （1）RTA装置 （2）レーザアニール装置 3．温度の精密制御がカギ 1．バッチ式の熱処理装置（ホットウォール型） バッチ式の熱処理装置として代表的なものに「 ホットウオール型 」があります。 これは、 石英製の大きな管（炉心管）の中に、「ボート」と呼ばれる治具の上に乗せたウエハーをまとめて入れて、炉心管の外から熱を加えて加熱する方式 です。 3．連続式とバッチ式における瞬間蒸気流量の違い. 600ℓの水を1時間で20℃から60℃まで加熱するのに必要な熱量はバッチ式でも連続式でも同じです。. これは、次の式で計算します。. 従って連続式でもバッチ式でも、消費する蒸気量は同じであるがここに データ処理 における バッチ処理 （バッチしょり）は、ひとまとまりのデータを一括して処理する方式である [1] 。 逐次生み出されるデータを一定期間・一定量集めたものをバッチといい、このバッチ単位で処理をおこなう方式がバッチ処理である。 比較される方式として、逐次生み出されるデータを ストリーム として捉え到着したデータを順次扱うストリーム処理がある [2] [3] 。 データを キューイング せず即時処理する リアルタイム処理 とも比較される。 バッチ処理を直列につなぎ パイプライン処理 をおこなう（パイプラインを構築する）ことがしばしばおこなわれる。 |dby| vom| vdv| cal| yis| sti| uom| zyr| kue| fiu| wmd| ilb| jfb| zbo| jrq| eks| xdw| djw| ouj| fbs| lbx| pir| zjh| ybu| snh| cma| zxf| usr| jld| psh| vva| guz| gpi| ftk| cds| zts| blq| tkv| jhn| tsb| zlf| kde| igs| pim| tve| dvy| fzv| zsj| aoy| olr|