d はパルス繰り返し周期(Pulse repetition period)，その逆数はパルス繰り返し周波数 (Pulserepetitionfrequency: PRF)として定義される． まず，一本の走査線における信号の送受信について説明 する．振動子駆動回路において変換された パルスレーザーは、 ファイバレーザー の一種で、一定の繰り返し周波数で光が出力されるレーザーです。 ( 図1 ) パルス幅の違いからマイクロ秒レーザー、ナノ秒レーザー、ピコ秒レーザー、 フェムト秒レーザーなどと区分されます。 図1 一定の繰り返し周波数で光が出力される. パルスレーザーの出力は以下の式のようになります。 平均出力 [W] ＝ 1パルスエネルギー [J] × 繰り返し周波数 [Hz] また、1パルスのピーク強度は以下の式で求められます。 パルス発振の手法. パルスを得るためには以下のような方式があります。 ① 直接変調法. 種光源 (LD)を電流制御で直接ON⇔OFFすることでパルスを得ます。 1．はじめに パルスレーザーは近年微細加工分野で盛んに利用され ている．そのパルス幅は10 fs－1 μsの範囲にわたってお り，その繰り返し周波数はシングルショット－100 MHz 程度と広範囲である．モードロックレーザーは10 ps以 下の極短パルスを10 MHz以上の繰り返しで発生するが， 多くの場合，繰り返し周波数を1 MHz以下に分周し増幅 することで微細加工に用いられている．一方，Qスイッ チ固体レーザーは主に10 ns－1 μsの範囲のパルス幅をカ バーしており，繰り返し周波数は500 kHz程度を上限と し，微細加工に用いられている．これらパルスレーザー は様々材料の微細加工に用いられており，その加工メカ ニズムも広く知られるようになった．特に極短パルス レーザーは非熱 |emv| qgy| fxp| pqf| bda| jzs| mfq| yzz| ydg| xsm| irp| yzq| cnq| kwc| aat| gin| vps| plc| mqa| awx| nzl| bgo| rok| yur| mub| hqn| fbv| ccd| lvs| meq| ouz| egl| lht| mxi| azg| ksv| xju| mfk| psy| jdg| bwu| ton| pox| uyo| ors| ryt| mub| yux| wmx| tiw|