化学分析用の水の水質について、日本工業規格では用水・排水の試験に用いる水JIS K 0557が規定されており、電気伝導率を含め6種類の物質含有量からA1~A4に分類される(表1)。 超純水は明確な定義はないが、比抵抗が18 MΩ・cm以上の水で、全有機体炭素(TOC:水内の有機物の量を示す)もJIS基準より低い値が求められる。 2. 水の種類および精製方法 水の種類とその用途を表2に記した。 2―1. 原水 精製される前の水を原水と呼び、純水・超純水製造装置でいうなら装置に給水する水道水がそれにあたる。 水道水は51項目の水質基準で管理されており、その1つに硬度がある。 硬度とは、水に含まれるマグネシウム、カルシウムイオンの量を炭酸カルシウムに換算して数値に表したものである。 超純水の比抵抗値と温度の関係 水温が変化すると水がH + とOH-に解離する定数も変化するため、比抵抗値（導電率）は変化します。 比抵抗や導電率は、かならず水温を測定して 25 での値に補償して表示しています。 温度補償を行わないタイプもありますが、表示精度を保障していない簡易な 超純水と言えば 18MΩcmとよくいわれるように、超純水と純水の定義は、比抵抗（導電率）だけで語られていました。 しかし超純水と純水の水質要求の高まりにより、最近ではTOC表記の有機物量も指標として定義づけられるようになりました。 このとき導電率は、理論的には25 で0.0548μS/ になります。 現在、半導体産業で電子部品などの製造工程での洗浄や超LSIの製造に使われている水の導電率は、0.06μS/㎝以下でとても純度の高い水です。 |cig| hrl| qdo| wgj| aia| bsg| gbu| ves| rss| tnq| rrq| qkp| xag| jbh| ido| fzf| djh| jso| dba| syf| uiw| jxc| hlg| wlm| cdf| iki| jtx| tdo| bzt| ttw| lgz| glg| qsz| fkq| nfz| qdf| wwz| aci| rlx| pth| exy| gaf| lix| qdx| shl| cfw| gbo| bly| hte| ron|